二手 ASML PAS 5000 / 55A #9233748 待售

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ID: 9233748
Stepper.
ASML PAS 5000/ 55A是利用先進技術制造半導體器件特性的高精度晶圓步進器。該設備是為大量生產高精度晶片特性而設計的,由先進的5軸多向平臺和室內3 D裝置定位系統組成。它可以容納300毫米晶圓在其卡盤,精度高達1微米。該單元配備了高分辨率32位圖像處理器,用於精確的邊緣檢測和特征對準。它提供了廣泛的模式特征,包括開放、無邊界、填充或反向模式;連續、分段或多段模式;一層和兩層設計;以及一步或順序曝光。它也可用於復制現有特征或創建新特征。該機有864步電機,提供對尺寸精度和速度的精確控制。ASML PAS 5000/55 A有一個全面的操作工具,包括用戶友好的軟件和硬件組件。該軟件使用戶能夠設置和控制資產、執行模式模擬和生成光掩碼。硬件由5軸多向平臺、室內3 D設備定位模型、CPU和內存單元以及高分辨率圖像處理器組成。該設備的先進光學器件配備了自動對焦和自動對準功能,而其成像系統提供亞微米分辨率。它還允許通過以太網進行高速數據傳輸。PAS 5000/ 55A與大多數晶圓制造工藝兼容,能夠以高精度和可靠性生產半導體器件。該單元是為所有類型的用戶設計的,從技術經驗最少的用戶到經驗豐富的操作員。易於設置和使用;提供全面的手冊、教程和客戶支持,以確保操作成功。該機提供了卓越的制造體驗,使用戶能夠快速高效地生產高質量的半導體器件。
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