二手 ASML PAS 5000 / 55A #9315876 待售

ASML PAS 5000/ 55A是用於生產集成電路（IC）如DRAM、微處理器和邏輯器件的晶圓步進器。它是一種高精度成像設備，使用激光束將圖樣傳遞到矽片上。ASML PAS 5000/55 A由光學級、掃描級和控制單元組成。光學舞臺包含照明系統、分束單元和投影光學機器。照明工具是一種強大的激光，能夠在晶圓上產生精確大小的光斑。分束資產將激光中的光分成兩束，然後用來創建光掩模圖樣。投影光學模型放大了光掩模圖樣並將其精確對準晶圓。掃描階段由X和Y定位階段以及旋轉階段組成。這些級用於相對於光學級生成的模式移動晶片。最後，利用控制單元對晶片步進器的操作進行精確控制。PAS 5000/ 55A能夠在晶片上打印圖樣，分辨率為0.25um，遠大於常規膠片技術的精度。此功能使其非常適合生產高密度IC（如DRAM）。該設備還具有較高的吞吐量速率，使其能夠在短時間內生產數百個IC。此外,PAS 5000/55 A所需的低暴露劑量使其能夠在晶片上產生非常精細的特征而不會損壞晶片。ASML PAS 5000/ 55A是一種可靠、精確的晶圓步進器,通常用於IC的制造。它提供高精度、高通量和低暴露劑量,使其成為生產超高密度集成電路的必要工具。