二手 ASML PAS 5500 / 100 #293814116 待售

ASML PAS 5500/100是為半導體工業設計的頂級晶圓步進器。ASML PAS 5500/100於1990年代初開發,它提供了一種高精度和經濟高效的晶片陣列設計方法,這是生產半導體元件的關鍵步驟。PAS 5500/100具有雙照明、5.5英寸視野和6.25英寸高的數值孔徑。這種步進器采用50 kHz的氙離子激光器，具有非常精確的陣列設計功能。此外,該設備獲得專利的ArF-Laser Direct Primint （LDI）系統提供了一個高性能的環境包,具有200 μ m的聚焦深度。PAS 5500/100還有一個先進的晶圓處理機制，允許晶圓表面的精確對準。自動預對準單元可以精確定位晶圓上的任何現有缺陷,從而進一步增強了此功能。直線電機驅動機進一步減少了舞臺和快門之間的任何不對準。此外,ASML PAS 5500/100還提供了一種高級編程工具,可簡化陣列的制作過程。此資產利用基於PC的模型軟件,使工程師能夠以最小的努力設計和實施復雜的設計修改。ASML PAS 5500/100專為極高的吞吐量而設計，最大晶圓輸出為每小時100晶圓。這款設備還提供了極高速度的模具對模具平均值,每個模具的速率為25-30秒。總的來說,PAS 5500/100是一個非常可靠和精確的晶圓步進器。該系統提供了高精度、低成本組件和最可靠組件的無與倫比的組合。借助PAS 5500/100,工程師可以放心,他們的晶圓陣列設計任務將以最低的工作量和最高的效率完成。