二手 ASML PAS 5500 / 100 #293817876 待售

ASML PAS 5500/100是半導體工業中使用的晶圓步進器。它是一種高度精確的機器，用於將圖案化的層轉移到矽片表面。這有助於減小組件的尺寸,從而提高集成電路的密度和小型化。ASML PAS 5500/100是一款配備光學投影曝光工具的先進光刻設備。它能夠將聚焦模式投射到接近原子分辨率的矽片表面上。這是使用多個幀來完成的,每個幀都有自己的模式,以避免曝光運動引起的問題。基板放置在可移動基板表中，光刻系統聚焦在基板上。該單元裝有半導體曝光平臺，或稱掩模。掩碼板包含一系列陣列結構,這些結構定義要投影的陣列。屏蔽板上的每個單獨框架都有自己的圖案，這是用來在基板上創建一個更大的曝光圖案。PAS 5500/100還配備了投影光源。這是典型的激光光源，如弧光燈。將光源編程為產生精確聚焦的光束，然後將光束投射到掩模曝光圖樣上。該機還配備了曝光控制器。該控制器用於調整曝光時間、強度和能量等曝光參數。這些參數用於調整投影到基板上的圖案的大小、形狀和精度。PAS 5500/100還包含一個掃描工具，用於在曝光頭下方移動基板。這用於啟用基板不同部分的曝光,從而允許資產在多個曲面上投影圖案。最後，該模型包含一個晶圓控制設備。它用於控制每個晶片的位置精度和曝光設置。它用於設置焦點、曝光時間、強度和能量參數,以確保將圖樣一致、高質量地投影到基板表面。總之，ASML PAS 5500/100是一種高度精確的機器，用於將圖樣傳遞到矽片表面。它包含許多組件,包括掩模、光源、曝光控制器、掃描系統和晶圓控制單元,使其能夠在圖樣投影到基板上時達到接近原子分辨率。