二手 ASML PAS 5500 / 100 #9045059 待售

ASML PAS 5500/100是為半導體工業設計的先進晶圓步進器。這臺機器能夠一次掃描多個晶片的表面，以創建精確的圖像。掃描過程準確、可重復，使機器能夠快速制造出最小缺陷的微小設備結構。該設備配有用於定位晶片卡盤的電動機驅動的x軸和y軸。它也有一個能夠進行z軸掃描的物體透鏡，讓它即使在晶圓的不均勻表面之上也能掃描一個完整的晶圓。機器的掃描尺寸達到7.8毫米或200 μ米,使其能夠處理大型基板以及非常小的設備。令人印象深刻的是，ASML PAS 5500/100配備了25mW ArF激光源，其工作波長為193nm。這種激光結合了深紫外線照射和高速z軸掃描過程的力量，提供了快速、精確的發展。此外,它還可以輕松處理具有復雜圖樣的晶片並對其進行成像,甚至可以使用細線和短間距。該系統采用特殊的曝光傳感器和接口軟件構建，旨在檢測光學單元的二階像差。這保證了盡管基板振動較弱，機器仍能以高精度運行，因此避免了不穩定的模式。而且，曝光過程的每個步驟都是實時監控的，因此即使在潛在的損害發生後也可以繼續進行開發。為了跟蹤開發,機器的控制面板是完全交互式的.可以直接從面板上查看晶片的狀態和掃描數據，面板甚至配有用於改變光源的慢跑輪。綜上所述，PAS 5500/100是一種高度可靠的晶圓步進器，能夠產生高度精確的圖像。它具有25mW的ArF激光源和嚴密控制和精確的曝光監測機，並配有一個易於跟蹤的交互式控制面板。總而言之，它是獲得最佳工藝結果的完美機器。