二手 ASML PAS 5500 / 100 #9218991 待售

ASML PAS 5500/100是由半導體設備公司ASML制造的最先進的晶圓步進器，使半導體制造商能夠生產出更快、更高效的器件。該機有多種元件，都是為滿足先進芯片生產的嚴格需求而獨特設計的。ASML PAS 5500/100具有對準級，由兩軸線性執行器、傾斜執行器、主軸和光學編碼器組成，以極高的精度測量該級的位置。這種精度使機器能夠根據要打印的圖樣的微觀細節自動調整其在晶片上的位置，從而提供最精確的可能打印。步進器還包括一個晶片處理設備，設計用於在生產過程中安全準確地運輸晶片。該系統由一個晶片盒、夾具、卡盤和兩個裝卸機器人組成，每個機器人都有六個軟墊真空臂。機器人和手臂由計算機單元和伺服電機控制，以確保晶圓在運輸過程中的精確運動。此外，PAS 5500/100利用先進的激光掃描技術，引導紫外線在晶圓上的曝光，以創建用作電路通路的微觀線路。這是由308 nm激光光源完成的，該光源向一系列鏡子和透鏡發光，將其照明集中在晶圓上非常小的目標上。PAS 5500/100的最終關鍵部件是它的視覺機器。視覺工具使用兩個攝像頭，一個用於捕獲低分辨率圖像，另一個用於捕獲更高分辨率圖像。這種雙相機資產使機器能夠精確地捕捉晶圓上的詳細微觀圖樣，對於生產高質量的半導體器件至關重要。總體而言,ASML PAS 5500/100是一個令人印象深刻的晶圓步進器,具有多種組件,它們可以協同工作,在半導體晶圓上提供高精度的紫外線曝光。其先進的激光掃描、雙攝像頭視覺模型和精密的晶圓處理組件使其能夠創建最復雜和詳細的微觀模式,這對於現代設備的生產至關重要。