二手 ASML PAS 5500 / 100C #293804502 待售
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ID: 293804502
優質的: 1995
Stepper
DNS Wafer track, 8"
(2) Coater / (2) Developer system
1995 vintage.
ASML PAS 5500/100C是為集成電路制造而設計的先進晶圓步進器。這種晶圓步進器具有很高的吞吐量速率和精度,可以生產高質量的半導體器件。它能夠處理高達每小時21,000個模具,並且可以容納從25毫米到200毫米的各種晶圓尺寸。ASML PAS5500/100 C由五個主要組件組成。第一種是標線級,是一種精密的裝置,持有持有所需電路模式的光掩模。二是晶片和掃描儀組件,是一種機械臂,以精確的單向速度將晶片和光掩模相互移動。第三個組成部分是投影設備,它由許多鏡頭和鏡子組成,這些鏡子和鏡子以所需的精確模式將圖像投射到晶圓上。第四個組件是對齊系統,它使用機器視覺單元來檢測模式並對齊所需的坐標。最後,第五個組件是計算機,它處理圖像數據以創建所需的模式。PAS 5500/100 C配備了多項功能以提高性能。這些功能包括高分辨率成像工具、高速、低噪聲掃描資產和高精度對準模型。晶圓級能夠與集成的自動校準設備保持微觀精度,即使在高速下也是如此。該機先進的光學和精密的計算系統也促進了更大的吞吐量、提高的精度和高度可靠的生產。PAS5500/100 C也是一臺高效的機器,因為它能夠通過一次掃描處理多個標線。此過程稱為「突發掃描」,可顯著提高生產率並降低生產成本。晶圓步進器還能夠適應各種不同的工藝要求,並提供廣泛的加工選項。總體而言,ASML PAS 5500/100 C是一種高性能的晶圓步進器,具有高的吞吐量和準確性。它有助於減少生產時間,提高精度和產量,方便生產高質量的半導體器件。該設備具有高度的可配置性,可以滿足各種晶圓尺寸和工藝要求。
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