二手 ASML PAS 5500 / 100C #293817877 待售

ASML PAS 5500 / 100C
ID: 293817877
Stepper Numerical Aperture (NA): 0.48-0.60 Resolution: 400 nm DCO:  70 Throughput (WPH): 74.
ASML PAS 5500/100C是一種晶圓步進器或光刻機,設計用於生產半導體芯片。它的特性和功能使其成為滿足各種高級處理和制造需求的理想解決方案。ASML PAS5500/100 C是一種步進掃描設備,它為曝光和對準提供了卓越的精度和準確性,使高復雜性產品能夠快速生產並具有高度的可重復性。該系統配備了一個定制設計的鏡頭,可以達到每秒三米的速度,能夠對焦到12納米的分辨率。此外,該裝置還能接觸劑量高達40毫焦耳,最大場徑300毫米。PAS 5500/100C可以在單模塊模式下操作,也可以作為全自動機器操作。單模塊模式允許對整個過程進行精確控制,並賦予用戶在必要時快速進行修改和調整的能力。自動化工具可以編程為根據所需產品的設計運行單一曝光或多次曝光。PAS5500/100 C配備了多通道視覺資產和獨特的雙龍門結構,能夠進行圖像識別和數字對齊。這樣可以確保模型能夠準確對齊要生產的產品的每一層,從而實現高度的可重復性和快速、可靠的批處理。為了利用ASML PAS 5500/100 C的功能,可以為設備配置一系列選項,包括ASML FTH前端工具,該工具提供ASML PAS5500/100 C與後端工具之間的接口,以及用於數據分析、監視和控制的高級軟件包。PAS 5500/100 C是一個高度復雜的系統,旨在提供精確可靠的生產結果。憑借其先進的功能和定制設計的鏡頭,它非常適合一系列先進的半導體制造需求。
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