二手 ASML PAS 5500 / 100C #293822312 待售
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ID: 293822312
晶圓大小: 6"
優質的: 1995
Stepper, 6"
Air control unit
TCU controller
TCU power supply
Stainless steel reticle cassette rack
Control computer
Calibration wafer
TEAL 3/78U400 power conditioner
1995 vintage.
ASML PAS 5500/100C是一種晶圓步進機,能夠進行高精度的光刻和成像過程。是為生產半導體、光電器件和其他成像材料而設計的一種步進重復模式制造設備。該系統使用一個非常精確的級在一組固定的透鏡元件下移動晶片,這些透鏡元件將圖樣投射到晶片上。模式通常由計算機程序定義。ASML PAS5500/100C是具有高級光學單元的晶圓步進器。它結合了兩個高數值光圈鏡頭,共八個鏡頭。第一個透鏡充當場透鏡,而其他七個透鏡充當成像透鏡。成像目標由七個DLAP(衍射激光高級模式)非球面透鏡組成,使機器能夠實現卓越的精確度和最小1微米的光斑尺寸。PAS 5500/100C具有計算機數值控制(CNC)功能,使機器能夠在晶圓表面上精確地重復模式。該工具還具有兩個電動級,允許在x、y和z軸上移動。數控系統配備了多軸運動控制器和高精度反饋控制資產,以提高精度和重復性。PAS5500/100 C帶有一個預定義的模式庫,可以快速方便地處理各種材料。它還具有圖像處理軟件,允許根據用戶提供的數據對圖像進行完整的自定義。該軟件還使模型能夠存儲和召回以前的作業,從而提供更快的訂單處理。ASML PAS 5500/100 C能夠產生大小從一微米到超過750微米的模式。其高分辨率功能提供了盡可能高的長寬比,可實現精確和精確的成像。該設備的專有對準軟件進一步提高了其準確性。此軟件會自動將標線對準晶片,以實現最高的效率。ASML PAS5500/100 C是一種先進的成像系統,可提供最大精度和最高質量的成像潛力。它是一個緊湊可靠的單元,提供快速、經濟高效的生產。該機具有很高的可擴展性,非常適合大批量生產和廣泛的應用。該機還提供了最高的分辨率和精度,非常適合最具挑戰性的應用。
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