二手 ASML PAS 5500 / 100C #9228851 待售
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已售出
ID: 9228851
Stepper
Uniformity: %
22x22 mm: </= 1.6
14.7*27.4mm: </= 1.6
Intensity: >/= 850 mW/cm^2
Lamp Life: 1500W: </= 150 hrs
Dose repeatability & accuracy: </= 1
Reticle masking black border size: </= 475
Image performance:
Astigmatism: </= 0.35
Focal plane deviation: </= 0.45
UDOF @ 0.40 um lines: >/= 1um
Focus / Leveling:
Focus repeatability focus: </= 50nm
Rx: </= 3 urad
Ry: </= 3 urad
FOCAL: Valid positions ≧ 14
Best focus < ± 0.2 um
Image tilt Rx < ± 5 urad
Image tilt Ry < ± 5 urad
Image distortion (lens):
Max X (NCE): </= 60nm
Max Y (NCE): </= 60nm
Magnification: </= 2 ppm
Rotation: </= 2 urad
Symmetrical T: </= 10 nm/cm2
Trapezoidal: </= 10 nm/cm2
Overlay performance:
Stage repeatability
Max x: </= 15nm
Max y: </= 15nm
Single machine: </= 60nm
2-NA Global overlay:
NA=0.48
NA=0.57
Prealigner accuracy:
Edge sensor
X (3sig): </= 8.5um
Y (3sig): </= 8.5um
Rotation (3sig): </= 180 urad
Edge sensor:
SD Y < ± 2.1 um
SD Rot < 45 urad
SD X < ± 2.1 um
Mark sensor:
SD Y < ± 2.1 um
SD Rot < 45 urad
SD X < ± 2.1 um
Image quality control (3sig):
Focus: </= 50 nm
Image Rx: </= 2 urad
Image Ry: </= 2 urad
Translation: </= 20 nm
Magnification: </= 2 ppm
Rotation: </= 2 urad
Throughput
(70) Shots at 200 mJ, 8": >/= (70) Wafers / Hour
Reticle exchange time: </= 29 Seconds
System reliability: > 500 PCs
Particle: 0.2um < 10ea
Laser output:
Alignment laser: > 12 mw
Interferometer HP laser: > 220 μw
Missing parts:
MVR Rack power supply
Lens bag inactivity
Workstation hard disk
(2) ACU Air pipes
Wafer handler elevator: 3/4 Cover.
ASML PAS 5500/100 C是一種晶圓步進器,主要用於將掩模投射到一系列基板上。廣泛應用於半導體制造、太陽能、平板顯示器等行業。它擁有一系列功能，旨在最大限度地提高吞吐量，同時最大限度地減少噪音和其他不利因素；例如,設備提供0.9秒以下的重新定位時間,確保作業的快速周轉時間。該系統還包含環境傳感器，支持對環境大氣進行智能監測，以便在溫度、靜態和濕度方面做出響應和控制。該單元與一系列光學和光源兼容，包括ArF激光源、深層紫外線光源等等，確保各種大小和復雜的作業都能完成。它還包含OPC處理和針跡打印等任務所需的特殊功能。它的模塊化設計允許用戶根據自己的需要自由交換和配置設備，確保最大效率。該機器采用先進的機器人技術設計，以盡量減少垂直和水平振動，確保精確的圖案和高質量的圖像。其高效的冷卻工具確保顆粒熱量在加工過程中均勻分布在整個腔室中，以保證均勻的表面質量。此外，其先進的激光散射儀資產旨在提供高度的精確度，確保圖像始終與亞微米級對齊。ASML PAS5500/100 C具有超快運動控制功能,能夠以高達2kHz的頻率運行。它具有高響應速度的設計,可確保快速響應時間,以響應操作員的控制命令以立即進行調整。該模型還包含一個完整的配置文件庫和一系列其他功能,可全面控制成像過程。此外,它還具有許多安全功能,如關機安全、擡起的物體檢測和舞臺碰撞檢測。這種晶圓步進器是為最大的多功能性而設計的，擁有一系列的特點，使其適合各種應用。其多種特性使其具有很高的可靠性和效率，是其在矽器件制造商中受歡迎程度的一個關鍵因素。
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