二手 ASML PAS 5500 / 100D #293656526 待售

ASML PAS 5500/ 100D是一種高精度、高分辨率的晶圓步進器，能夠生產先進的微電子器件。它代表了最先進的納米技術工具，因為它可以為極端環境制造極小的零件。ASML PAS 5500/100D建立在一個強大可靠的運動學和定位平臺上，能夠實現其卓越的性能。利用4kW光源,其光學設備最大限度地提高了分辨率、精度和吞吐量。PAS 5500/100 D具有四個運動軸,使機器能夠以極高的精度掃描、聚焦和對齊。其電動運動系統通過對準多個電池板來確保精度，這些電池板的軸線都是一致旋轉的。電動定位器還提供了廣泛的計量特征，其光學單元進行衍射和像差校正，以及像差消除。PAS 5500/ 100D有助於生產難以置信的小型芯片,例如微處理器和其他集成電路。它的分辨率超過了0.5微米-降至0.1微米-使其能夠生產最精細的先進集成電路。在「寄存器」模式下,機器可確保晶圓配準在幾微米內準確。PAS 5500/100D能夠在一次曝光中產生多個光掩碼，使過程更加高效。它還包括一個在軌道上的光學機器，減少了重新定位機器所需的時間，允許它在每次移動時返回到相同的像素大小。此外,此工具旨在減少熱量產生並促進高效冷卻。ASML PAS 5500/100 D具有監控參數以確保完美運行的自我診斷資產。該模型包括一個智能傳感器網絡，旨在向機器提供度量，以實時評估晶圓步進器的性能。它還具有完全自動化功能,允許用戶自定義計算機以匹配其工作流。除了出色的性能外,ASML PAS 5500/ 100D還提供維護支持,使其非常可靠、安全且易於使用。該工具具有尺寸精度和可重復性,即使在極端條件下也能提供精度和可靠性。其先進技術的結合使得它非常適合復雜的納米技術應用。