二手 ASML PAS 5500 / 100D #9045382 待售
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已售出
ID: 9045382
i-Line stepper
Temperature control unit (TCU)
SUN computer system
Under OEM Service contract
Missing and known defective parts:
(2) Wafer Handling Elevator
(2) Elevator cover
P-Unit Actuator
Edge Sensor
Air Control Unit
REMA Unit
Illumination House exhaust hose
Wafer Stage Motion Control Rack Fan Unit, and Power Amps
Reticle Table has a small chip on the front left pad
Currently installed
1996 vintage.
ASML PAS 5500/ 100D是一種高度先進的晶圓步進生產設備。這臺精密的機器被用於在微芯片晶片表面蝕刻錯綜復雜的圖案。它使用極其精確的鏡像光學設備將光束傳播到基板上蝕刻圖案。該裝置由於其一致的精確度和生產率，被認為是生產設施的「主力軍」。ASML PAS 5500/100D的核心是它的掃描儀，它包含一個弧形鏡子，裏面裝有四個弧形鏡子。這些反射鏡被稱為「多面反射鏡」，允許光學系統從單個點源掃描復雜的圖樣。光學單元可以水平和垂直掃描，可以以375mm/sec的速度移動。光學機器也是溫度控制，確保精確和精確的模式復制。PAS 5500/100 D設計為與自己的軟件交互，允許用戶以三種方式控制機器。第一種是實時模式，操作員可以選擇並設置一般變量和特定變量，如曝光時間、能量和模式復雜度。第二種是允許用戶一次處理多個晶片的「批量」模式，第三種是允許用戶同時處理多個作業的「批量」模式。PAS 5500/100D具有一個在線計量工具，它允許用戶檢查其蝕刻模式的準確性。此資產使用與蝕刻過程相同的光學模型對材料上的圖樣進行成像,並確定發現時的任何差異。PAS 5500/ 100D的其他功能還包括真空晶片處理系統、LED源、高壓電源和高密度磁帶自動粘合設備,這些設備使現代晶片的生產具有極細的線條和較小的特性。綜上所述，ASML PAS 5500/100 D是一臺極為先進、精密的晶片步進機，用於生產微芯片晶片。其精密、溫度調節的光學設備使它能夠以極高的精確度從單個點掃描復雜的圖樣。它還利用多種在線計量系統，對蝕刻圖案和真空晶片處理系統的精度進行了雙重檢查，以提高效率。ASML PAS 5500/ 100D具有可靠可靠的設計,是任何晶圓生產設施中的寶貴工具。
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