二手 ASML PAS 5500 / 100D #9075820 待售
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已售出
ID: 9075820
晶圓大小: 8"
優質的: 1996
Stepper, 8"
HDD
Intensity data: 245 mW/cm2
Uniformity: 2.71% (2014.2.27)
Dose accuracy: 0.37 %
Repeatability: 0.37 % (2014.2.27)
Single machine overlay:
X: 21 nm
Y: 23 nm (2005.12.23)
Wafer stage accuracy:
X: 5 nm
Y: 10 nm (2005.12.23)
Wafer stage repeatability:
X: 4 nm
Y: 8 nm (2005.12.23)
1996 vintage.
ASML PAS 5500/ 100D是為半導體、光子學和微電子學制造而設計的最先進的步驟和重復晶圓步進器。這種設備擁有直徑8英寸的晶圓的有效投籃面積，即使是最小的電子元件也能得到一致的生產。ASML PAS 5500/100D采用了0.6和0.75微米的高級升級,實現了業界領先的分辨率和5倍的覆蓋誤差。這種可靠的步進器具有最先進的精密運動元件,包括獨特的底部密封閉環體系結構,可幫助確保準確性和可重復性。PAS 5500/100 D還包括由數字慣性（DI）傳感器、傾斜校正速度傳感器（TCV）和XY速度傳感器組成的專有傳感器組件,以便對其過程進行精確和自動化的控制。ASML PAS 5500/100 D使用先進的氦硼（HeNe）激光系統。它允許完全自動化的晶片對圖樣進行標線以及精確的圖樣曝光。HeNe激光單元高效且適應每個用戶的需求，允許用戶將激光曝光劑量、掃描速度、激光強度和掃描面積調整到所需的規格。本機還包括軟件升級，以進一步提升用戶體驗。圖像處理算法精確定義配準標記，準確定位獨特特征，精度空前。該軟件還配備了功能強大的自動化工具，旨在改善循環時間和防止塗層錯誤。獲得專利的AX+系列步進器結合了PAS 5500/ 100D,采用了先進的叠加和圖像失真校正機制。這項專利技術確保了晶片的暴露是一致和準確的。PAS 5500/100D是半導體、光子學、微電子工業大批量生產的完美步進器。憑借其HeNe激光工具、獲得專利的技術和強大的軟件，這項資產產生了無與倫比的準確性和可重復性。
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