二手 ASML PAS 5500 / 100D #9202567 待售
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已售出
ID: 9202567
晶圓大小: 8"
優質的: 1996
i-Line stepper, 8"
Process: Front end & back end
CPU Type: SPARC5
CM options:
Lens number: 7556500A
Lens type: 75
Field diameter: 31.1
ARMS/RMS: RMS
Chuck type: Zerodur
Athena: No
Parameter
Illumination:
22.0X22.0 mm (%): <2
Intensity: >900 (mw/cm²)
Lens distortion:
Red blue NCE (nm): 0.0001<X<78
Magnification (ppm): -3< x <3
Reticle table tilt Rx (µrad): -10<X<10
Reticle table tilt Ry (µrad): -10<X<10
Reticle table height (µm): -10<X<10
Focal:
Image tilt Rx (µrad): -5<X<5
image tilt Ry (µrad): -5<X<5
Focus height (µm): -0.8<X<-0.6
Overlay:
Machine overlay to /100C or /100D: X<120
Reference machine (nm): Y<120
FPD (µm): 0.40
AST (µm): 0.407
CIM Linked
1996 vintage.
ASML PAS 5500/ 100D是專門為多種工業用途設計的晶圓步進器，包括生產微電子器件。該設備在生產過程中提供了更高的精確度和精確度,從而提高了過程的自動化程度。該裝置采用耐用的高級鋼制車身，完成後可在生產過程中提供卓越的性能。此外,它還配備了提供卓越性能的各種機械和電子功能。這包括用於控制光束、激光、馬達和其他組件的掃描儀；集成的對準控制設備；晶圓位置；以及用於交換盒式磁帶的提升裝置。ASML PAS 5500/100D包括三個主要組件：激光、掃描儀和投影光學.激光模塊負責產生街道形成，用於在晶片上執行必要的陣列。使用掃描儀移動激光束以創建所需的街道圖樣，並使用投影光學器件優化投影圖像的質量。為了確保精確的圖案，激光模塊構建具有高分辨率和動態範圍，而掃描儀是為了提供出色的對比度和創造復雜的圖案。此外，該設備還配備了一個專利自動裂紋系統，使機器能夠根據晶圓圖樣自動調節激光束。這允許更快、更準確的生產時間,從而提高過程的自動化程度。此外，PAS 5500/100 D的設計通過一個精密的步進校準單元來提供更高的尺寸精度。本機在曝光序列中監視和調整曝光劑量和叠加精度的累積，並提供精確的控制水平。此外,它還配備了先進的標線更換工具和巧妙的托盤定位資產,從而消除了晶圓定位方面的任何缺陷,並將停機時間保持在最低限度。總體而言，PAS 5500/100D是一種高精度晶圓步進器，專門為各種工業用途而設計和建造。它提供了多種功能,使其在陣列設計和曝光方面非常高效,而且它包含了復雜的自動機架模型,使其比以往任何時候都更快、更準確。
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