二手 ASML PAS 5500 / 1100 #293655010 待售

ASML PAS 5500/1100是一種用於半導體器件制造的運動控制和計量工具。它是一個生產級的步進掃描工具，配備了一個基板-每個過程步進和重復光刻系統。PAS 5500/1100使用能量輸出為135W的石英鹵素燈在晶圓上打印。該燈在紫外線（UV）範圍內工作，提供最佳光刻能力。晶片采用線性電動機掃描，精度極高，在基板上提供精確一致的印刷圖案。為了確保打印圖樣符合設計，PAS 5500/1100還配備了激光幹涉儀，測量打印圖樣與既定標準的偏差。PAS 5500/1100還提供了專門的對齊功能,使其能夠在不同晶圓類型的範圍內精確對齊模式。這是通過對比度成像、聚焦衰減和側壁角度確定相結合而實現的。通過使用對齊標記進一步增強了模式重叠，對齊標記作為測量和對齊的基準參考點。強度測量、對比度成像和基準都在對準過程中連續檢查。PAS 5500/1100具有超快的吞吐量,為高級流程控制提供了理想的平臺。系統可以在流程步驟完成之前很長時間檢測流程變化並輸出警告信號。這允許工程師在生產任何不合格的晶片之前采取糾正措施。最後,PAS 5500/1100的設計考慮到了較低的總擁有成本。這是通過它能夠減少過程步驟之間的開銷時間，減少維護操作次數，以及通過晶圓步進器優化基板傳輸時間來實現的。PAS 5500/1100結合其緊湊的尺寸、高精度和不間斷的操作，是大容量半導體器件生產的理想解決方案。