二手 ASML PAS 5500 / 20 #293817873 待售

ASML PAS 5500/20晶片步進器是半導體制造的寶貴工具，提供高質量的光刻工藝，以其先進的光學設計和成像分辨率而與眾不同。這種步進器設計有一個大的20英寸的隔膜場，能夠生產和檢查曝光面積從0.5毫米²到200毫米²的結構。這種步進器的儀器分辨率為2500 x 2500 Half Pitch Line/Space （HPL/S），對準精度為0.2微米（µm），總成像範圍可延伸至250 mm x 200 mm。PAS 5500/20采用白熾燈和高對比度投影光學器件的5倍還原和光刻系統設計，提供了一個4毫米晶圓的整體減小，承載到5倍，產生0.8毫米的圖像場大小。可以在步進器中添加多種選項,包括定制的鏡頭、光譜濾鏡和自動化軟件。為了提高步進器的精度,並提高每個圖案針腳的精度,它采用混合和匹配技術設計,允許獨立調整不同的針腳。ASML PAS 5500/20還有一個先進的照明系統，旨在提供均勻的照明，同時允許每小時100晶圓的平均吞吐量速度。它還具有內置的對齊特性，使晶片與結構的對齊更加容易和快速，從而提高了精度。步進器還具有現場測量能力，能夠近乎瞬時地表征晶片，快速識別任何異常或液滴尺度故障。緊湊的設計允許在半導體清潔室方便安裝，高度只有138厘米，總寬度和長度分別約為92厘米x 101厘米。PAS 5500/20具有高效的冷卻系統、較低的維護要求和較低的環境影響,是在半導體行業中執行關鍵光刻工藝的理想工具。