二手 ASML PAS 5500 / 200 #293817870 待售

ASML PAS 5500/200是荷蘭的荷蘭技術公司ASML制造的頂級晶圓步進器。它主要由半導體和集成電路制造商在光刻過程中使用，在光刻過程中，將光模式投射到矽片等基板上，以便重現到納米級的精確圖案。步進器可以在不到七秒鐘的時間內將電氣元件排列、曝光和檢查到晶片上。其系統精度為0.4微米，工作孔徑為0.7。該機具有254至365nm的明亮、可調的光源光譜，0.1至2500 mj/cm2的可選劑量，以及0.2至500 ms的曝光次數。ASML PAS 5500/200具有兩個外部振動阻尼器，使其適合復雜的光學設備，以及快速的標線和晶圓級，從而產生其他更快、更精確的過程。它能夠處理200毫米大小的晶片。PAS5500/200配備了自動化控制系統,旨在減少操作員時間並改善工作流結果。該系統能夠自動校正圖像失真和其他錯誤，允許使用2微米的單層對準精度和1微米的多層對準精度，以及-10至50攝氏度的溫度控制。從操作角度來看，步進器非常方便用戶，需要最少的技術知識才能正確操作它。它配備了觸摸屏圖形用戶界面、計算機化的作業設置參數以及廣泛的診斷數據，可以很容易地訪問。總體而言,ASML PAS5500/200是一種備受推崇且可靠的晶圓步進器,它為半導體和集成電路制造商提供安全、準確且經濟高效的光刻解決方案。該機用戶友好的界面、令人印象深刻的精確度和出色的運動控制能力，確保它在未來幾年內仍將是此類企業生產線內必不可少的設備。