二手 ASML PAS 5500 / 200 #9232850 待售

ASML PAS 5500/200是半導體制造業中用於光刻圖樣的晶圓步進器。此工具旨在幫助在半導體中創建模式,使制造商能夠創建具有侵略性的線寬0.10微米或更小的晶體管、內存和微處理器。步進器由四個主要組件組成：加速單元、控制單元、光學單元和移動平臺單元。加速度單元控制晶圓的坐標，控制單元運行與光刻圖樣關聯的程序，光學單元負責將圖樣成像到晶圓上，移動平臺單元負責在X和Y方向移動晶圓。所有四個單元連接在一起，每個單元都有若幹傳感器和執行器負責反饋信息。ASML PAS 5500/200的光學設備有獨特的鏡頭和鏡子組合，設計成在晶圓表面上成像。在A4（高級對齊模式）系統的幫助下,樣品支架在曝光期間將晶片固定到位。這四個元件結合在一起，可以保證精度和速度達到微米的一小部分。真空柱構成了真空室的延伸部分，它創造了一個低壓環境，在其中容納晶片，確保了出色的放置、高質量的成像和更大的模式保真度。步進器具有6英寸的可編程晶片尺寸，非常適合較小規模的集成電路生產，以及5秒的最大曝光時間。它的檢測速度明顯快於競爭對手的型號,PAS 5500也能夠產生更準確的結果。此外,步進器還配備了反向移動焦點輪廓算法,可根據矢量變化對PAS 5500的行為進行精確建模,從而在集成和曝光階段提供更好的聚焦控制和增強穩定性。PAS5500/200帶有一個集成的晶片定心和跟蹤單元,確保晶片精確定位在機器焦點上方。這樣就可以處理任何大小的晶片,即使是那些尺寸不標準且可能難以設計的晶片。此外，PAS 5500/200具有先進的配方模式，能夠在微細加工工藝和高端光刻中實現精密圖樣。總體而言,PAS 5500/200是一種高度精確的晶圓步進器,旨在提高產量、提高吞吐量和縮短生產時間。它使用先進的技術和組件,使其成為尋求可靠、準確和高性能光刻技術的制造商的理想選擇。