二手 ASML PAS 5500 / 200B #293804503 待售

ASML PAS 5500/ 200B是晶圓步進器的一種，也稱為步進軌跡光刻設備。它用於光刻設施，為半導體工業的集成電路創建電路。系統通過光線和遮罩的組合來實現這一點，這些遮罩將圖樣放置在晶圓的表面上。PAS 5500/ 200B的步進器總尺寸為2米乘1.5米，能夠步進直徑達200毫米的晶片，同時在x和y方向上達到1.2 μ m的配準精度。它采用高分辨率、寬帶照明，光子能量範圍從246到1064 nm，光學變焦範圍為16 x。該單元可提供0.45至1.35的各種數值孔徑。利用此範圍,它可以創建各種特征大小和過度掃描功能,精度範圍分別為150 nm至30 μ m,焦點深度範圍分別為8 μ m至28 μ m。ASML PAS 5500/ 200B利用3軸閉環控制機器同步列並允許高分辨率模式打印。它的兩個速度機動化軸由精密球螺絲驅動，能夠以快速可靠的方式提供高定位精度。該工具具有高分辨率、位置反饋資產和閉環、濕度控制功能。該模型能夠進行積極的叠加控制和快速的吞吐量,從而加快了批量生產周期。其內置的SoftRecipe軟件提供了用戶友好、直觀的用戶界面，便於操作和維護。此外,它還提供圖形特征以及高級統計和基於幾何的分析功能。最後,PAS 5500/ 200B包含了一個全面的標準安全協議,可幫助將與安全相關的事件的風險降至最低。它的每一個部件都是按照業界最高的安全標準設計和測試的,具有最先進的安全聯鎖,並與最新的安全控制機制配合使用。ASML PAS 5500/ 200B具有先進的安全特性，是一種可靠高效的晶圓步進軌跡光刻設備。