二手 ASML PAS 5500 / 250 #293817869 待售

ASML PAS 5500/250是由荷蘭的Advanced Semiconductor Materials Litechnology（ASML）建造的全場步進重復光刻掃描儀。用於生產半導體集成電路等微電子器件。步進器由隔離結構、持久且高精度的光學組件和計算機控制設備組成。隔離結構將振動與環境隔離開來，從而確保光學器件從掩模到晶圓的對準和位置保持準確。光學組件包含一個機器人晶片和掩模處理模塊，3個帶進動編碼器的鏡子，幾個鏡頭，兩個用於光束偏轉的檢流計掃描儀，以及兩個數字圖像拉伸單元。組合光學系統，最小鏡頭接受角為5度，對於IC圖樣和叠加功能，分辨率為0.25微米。控制單元設計用於控制、監控和記錄步進函數。它由一個圖形用戶界面（GUI）和顏色編碼的邊框組成，用來表示處理狀態，一個高級功能菜單和顏色編碼的鍵盤。機器還配備了自動距離控制（ADC）工具，利用圖像識別算法根據需要調整掩模和晶圓之間的距離。ASML PAS 5500/250步進器能夠處理尺寸達8英寸（200毫米）的基板，吞吐量高達每小時395晶圓。它還提供各種選項,可以提高工藝性能和吞吐量,包括內置塗層/顯影劑、負載鎖室和晶圓清洗/測量設施。綜上所述，PAS 5500/250是一款全場步進重復光刻掃描儀，用於生產集成電路等微電子器件。它具有隔離結構、高精度光學組件和計算機控制資產,以確保所需的陣列和對齊過程的準確性。步進器還能處理尺寸達8英寸的基板，吞吐量高達每小時395晶圓。