二手 ASML PAS 5500 / 250 #9166553 待售
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已售出
ID: 9166553
晶圓大小: 8"
i-Line stepper, 8"
ARMS Option
Image field size:
X: 22.0 mm
Y: 22.0 mm
Diameter: 31.1 mm
Steps:
X: 11
Y: 11
Measurement type: Sample mode
Lamp power (W): 3150.0
Samples per position: 50
Apply REMA window: Yes
Load reticle: N
Illumination mode: Annular
Numerical aperture: 0.58
Sigma outer: 0.800
Inner: 0.450
Uniformity measurement result:
Uniformity (%): 1.79
Logfile: LI / LIUM / waf.941
(121) Measurements
Tilt:
X (% / field): 0.74
Y (% / field): -0.18
Overall average:
Ratio: 1.00
Standard deviation: 0.01
Intensities spot sensor (mW / cm2): 1706.65
Standard deviation: 12.48
Intensities energy sensor (mW / cm2): 1706.75
Standard deviation: 5.10
Lamp time lit (hour): 1866:42
Estimated uniformity from measured data (%):
If corrected:
Actual tilts: 1.78
Gradient filter: 1.54
Tilts and with gradientfilter: 1.26
Symmetric uniformity value (%): -0.52
Currently installed.
ASML PAS 5500/250是一種精密的晶圓步進器，設計用於半導體器件制造中的生產級光刻任務。它是一種下一代掃描（NGS）設備，每小時最多可以處理25個晶圓，分辨率為0.25微米。此晶片步進器提供同類產品中最高的吞吐量和分辨率。系統的核心是采用8通道多掃描儀配置的高級掃描鏡頭組件。此設置允許的吞吐量比其他步進器高得多,使其成為尋求最大生產速度的制造商的理想選擇。透鏡提供0.25微米的最小分辨率，這是先進半導體器件制造中許多光刻工藝所必需的。該單元還包含一個稱為高級色散光學（ADO）的獨特功能。這是一種利用多鏡頭和鏡子組合的技術，以利於更好的圖像分辨率。此技術有助於消除像差並提高分辨率,從而使步進器能夠保持其高專業水平的準確性。此外，ASML PAS 5500/250具有一系列支持功能。例如，它有一個自動化的晶片裝載機以及各種功能，以確保晶片的高度精確對準。它還具有一個集成的冷卻工具,可最大程度地提高鏡頭和組件的效率和使用壽命。步進器還配備了簡化操作和編程的綜合GUI（圖形用戶界面）。這使得初學者很容易快速熟悉資產，讓他們輕松地執行復雜的光刻任務。PAS 5500/250是一種功能強大且可靠的晶圓步進器，為制造商提供同類產品中最高的吞吐量和分辨率。其ADO技術和全面的支持功能使其成為高精度光刻應用的絕佳選擇。
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