二手 ASML PAS 5500 / 250C #293810531 待售

ASML PAS 5500/ 250C是一種高性能晶圓步進器，已廣泛應用於半導體光刻行業。PAS 5500/ 250C將抗蝕劑掩模層分層到晶片基板上。這是使用先進的激光投影設備完成的，該設備能夠產生高精度的重復幾何圖樣，從而能夠將所需的圖樣精確蝕刻到晶圓基板上。ASML PAS 5500/ 250C由幾個不同的組件組成，包括舞臺、激光、蒙版和舞臺。舞臺是在曝光過程中支持晶片的大型平臺。它提供了必要的穩定性,以便能夠準確地暴露抗蝕劑口罩。激光是一種高功率的二極管激光器，能夠產生必要的模式模式。蒙版是一組金屬板,包含所需的陣列設計,用於將其投影到晶片上。這些階段是負責在曝光期間控制口罩的對準和定位的組件。PAS 5500/ 250C具有多種特性,非常適合工業規模的光刻工藝。該系統能夠管理曝光時間，在不同深度和可變曝光情況下實現準確曝光。激光強度和波長也可以精確控制，使光學損傷和模糊最小化。此外,該單元還包括一個精密聚焦執行器,可將掩模精確轉換到每次曝光的適當位置。ASML PAS 5500/ 250C由於其先進的技術和精心設計的組件,是一種可靠的光刻工具。其靈活的設計允許實現各種不同的過程，其準確性和效率使其成為高通量應用的理想選擇。該機維護成本也較低，使用方便。這使得它成為工業光刻工藝的一個有吸引力的選擇。