二手 ASML PAS 5500 / 250C #293811101 待售

ASML PAS 5500/ 250C是為高級半導體應用而設計的高度先進的專業級晶圓步進器。用於生產集成電路等相關微電子器件。該設備由若幹部件組成，包括一臺主機、一臺除塵器、一臺計算機控制單元、一個光學對準系統、晶圓處理設備以及馬達和驅動器。大型機負責控制整個單元，而除笑器和晶片處理機器人則處理晶片傳輸。計算機控制單元負責向每個機器組件發送命令，並維護晶圓加載/卸載、刀具調整和校準的數據。光學對準資產用於精確、精確地測量晶片的位置，由一個電動對準級、兩個激光幹涉儀、一個用於測量失準的數字信號處理器（DSP）和一個監視器組成。晶片處理設備由電梯、XY平移級和卡帶式升降機組成，所有這些都有助於將晶片精確定位到晶片級。電機和驅動器負責為對準電機、大型機組件和晶圓處理機器人提供精確的運動。該模型具有多種功能,例如具有21毫米晶圓移動能力的50毫米視場、7nm的放置精度和0.2 μ m的對準精度。此外，它的速度高達每分鐘12個晶圓，能夠容納300毫米和200毫米晶圓大小。PAS 5500/ 250C能夠在批量和連續生產環境中工作,與傳統的晶片步進器相比具有許多優勢,例如提高產量和效率、提高吞吐量和更可靠的操作。通過提供眾多自動化和半自動化功能,它非常適合大批量生產,確保及時完成過程並獲得最高質量的結果。