二手 ASML PAS 5500 / 250C #9265786 待售

ASML PAS 5500/ 250C是晶片步進器，一種半導體工業中用來在矽晶片上制造微觀電子元件的工具。該設備的技術規格從最大場尺寸開始,最新版本提供250毫米直徑的光場。此外,它的光學器件可以配置為同時支持截止掃描儀和步進重復光學器件,分辨率可降至0.3微米。PAS 5500/ 250C步進器包括一個或兩個全浮動平面臺階以及一個7軸運動控制系統。平板臺階為模模加工提供了卓越的對準和定位精度，而運動控制單元則允許快速、精確的X、Y和Z運動。步進器的照明機兼具激光曝光工具和先進的i-Line光學元件。激光曝光資產可用於支持激光掩模和直接激光寫入（DLW）技術，並具有13.56 MHz 25瓦ArF（原子氟）源和3軸運動控制模型。i-Line光學支持0.6和0.8微米的操作，能夠在短時間內曝光大的晶圓尺寸，最大總基板尺寸可達8英寸。光學設備提供了在掃描模式和直線模式之間切換的選項,而無需對光學設備進行機械更改。ASML PAS 5500/ 250C還包括一個模塊化選項結構,其中包含用於現場計量、接觸對齊和預對齊模塊的模塊。該設備還具有基於Windows的平臺,可用於所有安裝、操作和維護活動。這允許用戶使用直觀的圖形用戶界面以及專用於二次自動化的集成工具。PAS 5500/ 250C是一個高級系統,旨在為半導體公司提供各種工業過程的精確陣列和成像功能。憑借其尖端的特點和能力，該單元能夠為各種類型的電子設備創建極其精確的組件。