二手 ASML PAS 5500 / 275D #9188744 待售

ASML PAS 5500/ 275D晶片步進器是一種雙光束、計算機控制的投影光刻設備。用於生產半導體器件（如IC和MEMS）。步進器有兩個光源，一個是248 nm波長的KrF準分子激光束，另一個是193 nm波長的ArF準分子光。光源允許使用最小特征尺寸為0.18 μ m的高分辨率光刻操作。PAS 5500有一個晶片級系統，將晶片定位在光束路徑中，並旋轉晶片使每個晶片與光束對齊。這個晶圓級單元能夠在納米和秒的數量級的速度和精度。此外，這臺機器還設計用於在16攝氏度以下的溫度下運行。該工具能夠通過使用二維對齊資產實現亞微米精度。該型號采用三軸級和四個CCD相機，以確保晶片在曝光前的精確定位。ASML PAS 5500使用五軸雙MST（機械級轉換器）掃描頭以更高效的方式對晶片進行制圖。PAS 5500配備了先進的成像設備，能夠對晶圓上的微結構進行高分辨率成像。這包括微觀光學和多層光學成像系統，NA（數值孔徑）高達0.5。該單元還設有一個專門的掃描軟件套件，用於全晶圓處理和檢查。這包括用於自動晶片定位的掃描工具、用於自動陣列對齊的步進工具和用於自動曝光的曝光工具。軟件套件允許用戶友好地控制流程，減少時間和人工幹預。總體而言，PAS 5500/ 275D是一種工業級雙束投影式步進器，專為半導體工業中的精密光刻應用而設計。其特點結合了先進的晶圓處理，允許生產吞吐量更快、產量更高的集成電路。