二手 ASML PAS 5500 / 300 #293814115 待售

ASML PAS 5500/300是一種全自動晶圓步進設備,旨在為集成電路制造提供解決方案。該系統為晶圓的對準、光刻和計量（測量）提供了平臺。晶片步進器為晶片上的器件制造提供光刻技術，具有嚴格的循環時間和高精度的放置和覆蓋要求。該單元由用於運行光刻過程的硬件和軟件組件組成，包括幾個關鍵組件。首先，步進器設計用於移動晶片通過幾個階段的光刻成像和圖樣。步進器包含幾塊硬件，如步進柱、晶片級和透鏡。步進柱設計為將晶片精確移動到透鏡下方，並在晶片表面上成像。晶片級設計用於在成像過程中將晶片固定在適當位置，並可針對不同尺寸的晶片進行機械調整。透鏡可以換取晶圓上不同層的不同透鏡類型和功率水平。機器的光學元件允許光刻圖樣與晶圓的高精度對準。模式發生器生成要應用在晶圓表面上的模式的電子表示。光學傳感器可以檢測晶片的表面特征，以便將圖樣對齊。然後使用激光光學器件將圖樣蝕刻到晶片上。該工具的計量工具也被用於測量晶圓上圖案化的電路。這些工具包括光學掃描儀，能夠精確測量晶圓上圖案的尺寸。資產還包含幾種類型的相機系統，在成像和圖樣完成後提供晶圓的圖像。ASML PAS 5500/300是一種多用途晶圓步進機,能夠以非常高的精度執行各種光刻任務。從工業的角度來看，它是一個可靠的平臺，具有極快的周期時間和對齊能力，滿足苛刻的叠加要求。該模型為集成電路制造提供了一種通用的方法，非常適合許多行業應用。