二手 ASML PAS 5500 / 300 #293817868 待售

ASML PAS 5500/300是ASML製造的晶圓步進器。它是一個完整的系統，能夠在自動化和可靠的過程中在單個晶片上生產精密微電路產品。ASML PAS 5500/300由高級運動傳遞、舞臺、光學和控制系統組成,使其能夠提供高度精確的晶圓處理功能。其舞臺設計針對高速和高精度進行了優化,可保持剛度和熱穩定性,在低振動頻率和低熱漂移的情況下提供精確的放置精度,從而在多個處理步驟中提供穩定的結果。PAS 5500/300具有機動化的精密級,可實現最高的平面內放置精度和可重復性。該級由3個獨立無反沖直線電機系統驅動，實現了快速準確的定位。PAS 5500/300的光學和投影系統具有先進的分辨率和重復性，產生清晰的輪廓和高精度的配準。它還具有從紫外線到遠紅外光的寬波長範圍，提供與多種材料的兼容性。ASML PAS 5500/300還集成了高級控制系統以實現精確可靠的操作。這包括一個精確的控制器和實時、全自動的測量和反饋控制系統，即使在復雜的過程中也能在多個過程中實現高可重復性。最後,ASML PAS 5500/300是一種高度精確的晶片步進器,能夠在自動化和可靠的過程中在單個晶片上產生微電路。它具有精確的舞臺、投影系統和實時控制系統，以確保在多個過程中具有很高的重復性、準確性和可靠性。