二手 ASML PAS 5500 / 300 #9162889 待售
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ASML PAS 5500/300是一種先進的、高精度的晶片步進器,用於半導體器件製造中,在沈積在每個晶片表面的光刻材料上公開集成電路圖樣或圖片。高精度步進器是利用先進的光刻技術打造的,可以執行面罩投影、面罩薄膜、抗打印等多種成像功能。ASML PAS 5500/300具有高精度的光學系統,可以將圖樣或圖片精確成像到光刻材料上。該系統包括一個先進的投影鏡頭、一個x-y-z可移動舞臺和一個高能光源。投影鏡頭提供高分辨率的圖像,而舞臺則允許鏡頭下方晶圓的精確操縱和定位。照明源是一種高能照明,設計用來投射所需的圖樣或圖片到晶圓上。PAS 5500/300設計用於清潔室環境,以保持非常高的成像精度。為了最大限度地減少汙染和瑕疵的風險,步進器被設計成盡量減少晶圓的運動,以使所有元件保持在同一平面內。這樣可以確保所需的圖案或圖片在光刻材料上精確、精確地曝光。PAS 5500/300是一款極其人性化的機器。計算機控制的軟件和硬件集成使用戶能夠快速輕松地設置映像作業並保持一致的性能。自動對齊機制設計用於在每個周期中精確暴露晶片,而無需手動對齊。步進器可以無限微調,以確保晶圓上曝光的圖樣或圖片的最大精度。此外,步進器還為用戶提供各種報告功能,以確保性能和生產產量一致。ASML PAS 5500/300旨在在高精度光刻應用中提供一致、可靠的性能。步進器非常精確,可以精確地顯示具有精確分辨率和細節的圖案或圖片,同時還具有可擴展性和用戶友好性。這使得ASML PAS 5500/300成為半導體器件制造的理想選擇。
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