二手 ASML PAS 5500 / 300 #9188016 待售
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已售出
ID: 9188016
晶圓大小: 8"
優質的: 2000
i-Line stepper, 8"
Software version: 8.8.6
Hardware configuration (Fab):
OCU-Console
Main body
Electronic cabinet
Handler system: WTS
Hardware configuration (Subfab / Auxilliary units):
TCU
AAR Cabinet
Transfomer
Charcoal filter cabinet
Cymer laser
Equipment configuration:
CPU Type: SPARC5
CM Options:
Lens number: 0107577b
Lens type: 78
Field diameter: 31.1
ARMS / RMS: ARMS
Chuck type: SiC
Athena: Yes
Currently de-installed and warehoused
2000 vintage.
ASML PAS 5500/300是一種用於光刻的高精度晶圓步進器。它是一種光學投影打印機，由高功率光源、精密光學元件和遵循預定運動模式的舞臺設備組成。晶片步進器的工作原理是首先用一種稱為光敏膠的光敏材料塗覆晶片。然後，在光源和晶圓之間放置一個包含計算機生成模式的大型掩碼。光源照亮了反過來投射到晶片上的圖案。然後,精密級系統將晶片相對於掩模移動,使焦點和位置發生微小變化,以確保每個連續的圖像都能準確傳輸。這種精確度對於微小電路元件的對準至關重要，因為晶圓是以連續模式投影的。在ASM ASML PAS 5500/300的情況下,使用高級壓電組合運動保證精度。此單元可隨時微調舞臺機的精確位置和速度,確保最高精度,而無需依賴壓力控制器或較大的移動質量。PAS 5500/300除了具有令人印象深刻的精確度外,還采用了專有的雙頻（DFL）成像方法。這種方法在一個軸上結合了兩個完全獨立的成像系統，允許增加曝光時間，從而導致更高效的光刻。總之，PAS 5500/300是專為光刻設計的高精度晶圓步進器。ASML以其先進的壓電運動和雙頻成像相結合，是任何需要最高精度的應用的完美選擇。
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