二手 ASML PAS 5500 / 300B #9193539 待售

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ASML PAS 5500 / 300B
已售出
ID: 9193539
DUV Scanner 248 nm.
ASML PAS 5500/ 300B是一種高性能、高級且功能強大的自動晶圓步進器。它在半導體晶圓加工方面具有卓越的性能和精度。它是一種利用先進工藝技術在矽晶片上定位和成像模式以獲得最佳模具產量的工具。PAS 5500/ 300B晶片步進器在X-Y表上運行,這允許基板相對於成像系統精確定位。步進器使用極紫外光刻(EUVL)將圖樣暴露在光掩模上,然後使用步進器的光刻系統轉移到矽片上。步進器的精確度和精確度是半導體制造商的一大資產,使得提高產量和降低制造成本成為可能。ASML PAS 5500/ 300B具有使用非常小的功能大小的能力,曝光能力可降至0.1 μ m。這使得它適合在現代納米電子器件上曝光非常細微的特性。步進器在高速掃描系統上運行,可以高精度地重復塗層和成像過程。PAS 5500/ 300B還具有出色的成像功能,例如能夠捕獲微觀圖像並將其放大幾倍。它能夠產生分辨率約為0.2微米的圖像,這比市場上大多數其他解決方案都要高。此外,步進器的模塊旨在減少觸摸時間,確保更快的吞吐量,並使制造商能夠節省時間。ASML PAS 5500/ 300B具有一系列其他特性和功能,使其成為高效的自動化晶圓步進器。它利用對齊、圖像質量和分辨率方面的最新技術,使其成為將圖樣暴露在晶片上的強大而可靠的工具。此外,步進器設計為用戶友好,具有直觀的控制系統和強大的圖形用戶界面。總體而言,PAS 5500/ 300B是一種功能強大且高效的自動晶圓步進器。它的X-Y表可確保晶片的精確對準和放置,而其EUVL功能可確保高分辨率成像和精確曝光。此外,其直觀的控件和精巧的圖形使其成為半導體制造商極為用戶友好的工具。
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