二手 ASML PAS 5500 / 300B #9407670 待售
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單擊可縮放
已售出
ID: 9407670
晶圓大小: 8"
優質的: 1997
Stepper, 8"
Wavelength: 248 nm
Resolution: 150 nm
Overlay: 28 nm
Throughput: 88 WPH
Options included:
SECS
REFL_IMAGE_SENSOR
ARMS
SINGLE_RETICLE_SMIF
PEP_1_PRODUCTIVITY_UPGRADE
PEP_2_PRODUCTIVITY_UPGRADE
RETICLE_ERROR_COMPENSATION
FLATNESS_MODEL
LSQ_DISTO_MODEL
MARK_SENSOR KEY
BATCH_STREAMING
INTENSITY_2
AERIAL
FOCAL_ADJUSTMENT
EXTENDED_EXPOSURE
1997 vintage.
ASML PAS 5500/ 300B是一種先進的晶圓步進器，用於半導體制造。它是一個強大而精確的步進器，配置為執行各種任務，如光刻工藝和先進的缺陷檢查。它提供高達每小時500晶片的生產速度，並且可以容納高達300毫米尺寸的晶片。PAS 5500/ 300B配備了自動晶片處理設備,可確保最大限度地利用空間並加快流程。步進器還配備了先進的反饋系統，使其能夠優化每次曝光的劑量和焦點，以提高覆蓋性能。該步進器采用高分辨率投影光學系統，利用相移掩模提高分辨率和速度。這臺機組最多可減少4倍，精度達147納米。ASML PAS 5500/ 300B能夠從單個設置中進行多次曝光。這樣可以提高吞吐量並顯著降低每晶圓的成本。它還配備了主動溫度控制機和環境光檢查工具，確保每次曝光的理想照明條件。此步進器還與最流行的設計系統兼容，如CAD/CAM、SMD和GDS軟件。這樣可確保快速、平穩的數據傳輸,並有助於縮短生產時間。PAS 5500/ 300B晶片步進器是尋求高性能、高級步進器資產並具有卓越精度和可靠性的企業的絕佳選擇。它是一種功能強大、靈活且經濟高效的解決方案,適用於各種半導體制造應用。
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