二手 ASML PAS 5500 / 300C #144388 待售

ASML PAS 5500/300 C是一種最先進的晶圓步進器,旨在降低制造成本和提高工藝效率。它是一個25 nm+、5步光學投影步進器，最大工藝精度± 0.8 μ m。300 C具有一個大型的基於LCD的用戶界面,使設置和操作變得簡單。此外,它的全自動對準設備允許用戶在每個曝光步驟之前快速、精確地檢查任何晶圓方向。300 C采用先進的五掩模模式投影儀系統，能夠高速成像大視野。五掩模投影單元由一個主入射光源和四個主入射探測器組成。主入射光源負責產生五個光學圖像，用於將大視野成像到晶圓上。此外，這項技術可以比傳統的單掩模投影系統更高的速度和精度。此外,300 C還配備了改進的模式匹配和叠加功能,能夠快速準確地對齊多個圖像。300 C除了圖像投影和模式識別外，還采用了專利多級高分辨率成像技術。這項技術使用兩個獨立的階段在過程的每個步驟中獲取晶圓的高質量成像。第一階段獲取投影模式，第二階段獲取必要的聚焦信息以正確聚焦模式。300 C采用先進的分光光機。該工具使用兩個獨立的光學系統，允許用戶在整個過程中保持最大分辨率和準確性。此外,在所有過程步驟中,分光資產通過保持相同的光照強度來減少掃描時間。300 C采用高精度光束掃描儀,允許以高達5 μ m/秒的速度進行超高精度成像。平面平行激光光學面板在對大視場成像時允許盡可能高的精度。此外，該技術還可用於復雜的圖樣成像和掩模對準。總體而言,ASML PAS 5500/300C是一種高級晶圓步進器,可提供高精度和高性能。其獲得專利的多級成像技術、雙光學系統和高精度光束掃描儀使制造商能夠通過提高吞吐量和提高成本節約獲得更高質量的產量。