二手 ASML PAS 5500 / 300C #293746594 待售
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ID: 293746594
晶圓大小: 8"
優質的: 2000
Stepper, 8"
CYMER ELS-5600 Laser
DONALDSON P198475 Filter
ARMS Reticle handler
Wafer handler
IL Bottom module
CT Cabinet
Electronic cabinet
OCU Unit
ARMS Control unit
Cover cart
2000 vintage.
ASML PAS 5500/300C是一種最先進的晶圓步進器，用於生產先進的集成電路（IC）或微芯片。它是一種無掩碼步進器，是高端應用的領先光刻系統之一。ASML PAS 5500/300C專為2D和3D光刻應用而設計。由於其先進的技術和自動化,該設備提供了可重復性和更高的工藝效率.它的掃描速度為1.6 ×放大倍數,每小時可轉換為80多個晶圓。該系統基於獨特的雙級光學單元。它具有兩軸對齊機、高級光束掃描單元和高性能成像儀。集成光學平臺提供卓越的光學性能和卓越的吞吐量，允許更快的晶圓處理。PAS 5500/300C是世界級的無掩碼步進器，能夠執行高度精確的曝光。它具有許多功能,旨在確保最高的精度和可重復性。該工具利用了多種穩定、準確的模式叠加技術，包括：基於關聯的對齊、叠加補償、對齊模式匹配和邊緣細化算法。該資產因其無掩碼可編程不對稱（MPA）特性而備受推崇。此功能使可調曝光參數能夠補償叠加和接近度的變化。利用MPA，晶圓表面積可以成功減小，從而為IC生產帶來更高的精度和成本效益。此外，PAS 5500/300C具有一種新的采集模型，具有先進的圖像比較、缺陷檢測和像差測量能力。它還采用了獲得專利的Photomask@@-Maskles@@-Transfer技術，使用戶能夠比以往任何時候都更準確地將圖樣從光學掩模傳輸到晶圓。ASML PAS 5500/300C可以很容易地集成到任何光刻設備中，並得到廣泛軟件工具的支持，使其比以往任何時候都更加通用。是生產大容量集成電路等先進微元件的理想工具。ASML PAS 5500/300C具有較高的精確度、可重復性和成本效益,已成為先進半導體制造的主要選擇。
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