二手 ASML PAS 5500 / 300C #293802068 待售

ASML PAS 5500/300C是一種晶圓步進器，允許用戶以微處理器和其他集成電路的形式精確地陣列復雜的集成設計。它是一種先進的光刻設備，減少了所需的口罩數量，並允許定義更精確的圖案。ASML PAS 5500/300C采用先進的投影光學系統進行各種曝光。該單元采用了一個強大的200毫米（8英寸）鏡頭，曲率半徑為1050毫米，數值光圈為0.75。這樣就能夠以0.25微米（0.00001英寸）的分辨率實現極其詳細的成像。PAS 5500/300C還具有一種電阻式彈匣機，用於快速、輕松地改變晶圓類型。它能夠支撐多種晶圓尺寸，直徑從2.5英寸到12英寸。該工具是建立在一個花崗巖基礎上的剛度和精確對準，並包括一個油浸掃描儀，以提高成像精度。PAS 5500/300C是一種先進的自動準直資產，用於將基板精確對準成像平面。提高的準確性大大縮短了設置時間,從而降低了成本並提高了客戶滿意度。除了更高的精度外，ASML PAS 5500/300 C還具有集成的裝載機/卸載機模型，允許自動裝卸晶片而無需額外的手動幹預。這種集成設備簡化了生產過程並降低了成本。ASML PAS 5500/300C是一個健壯的系統，非常適合高容量、高精度的光刻應用。其先進的特性如電阻式彈匣式操控、自動準直裝置，為客戶提供了高效可靠的生產高品質集成電路的方式。