二手 ASML PAS 5500 / 300C #293817864 待售

ASML PAS 5500/300 C晶圓步進器是一種復雜的光刻設備，用於半導體晶圓的陣列。該系統專為生產300毫米晶圓而設計，具有高分辨率掃描儀、可變數值孔徑（NA）和一系列照明配置。ASML PAS 5500/300C Stepper能夠提供從0.200到0.63的高數值孔徑（NA）。該機場尺寸為300 mm，配備了0.1 µm的XY分辨率，非常適合半導體生產工藝。它是專門為大型圖樣區域成像光刻提供最終的可靠性、準確性和分辨率。PAS 5500/300 C具有高分辨率掃描儀,能夠掃描只有3 mm分辨率間隙的相鄰字段。掃描儀可以以大約1000毫米/秒的掃描速率運行，使其適合高吞吐量生產。此外，它的光學機器能夠容納各種照明配置，包括Koehler，環形和均勻場。此外，該工具能夠使用範圍廣泛的準分子和二極管泵浦的固態激光光源，包括ArF（氟化氙）激光器。除了先進的成像能力外，PAS 5500/300C Wafer Stepper還擁有一套自動化功能，旨在簡化陣列制作過程。它具有自動晶圓處理資產,可以快速交換晶圓和掩碼。此外，它還配備了集成過程控制器，允許對模型進行實時控制。最後，該設備采用單片機架構，設計用於圖像處理的高速和超低開銷。總體而言，ASML PAS 5500/300 C晶片步進器是最先進的半導體晶片陣列化系統之一。其高分辨率掃描儀、可變數值孔徑和先進的自動化特性使其成為生產大型圖樣區域光刻的理想選擇。其單片機架構和集成工藝控制器也提供了卓越的性能，使其成為半導體制造商的首選解決方案。