二手 ASML PAS 5500 / 300C #9138482 待售

ASML PAS 5500/300C是ASML的先進晶圓步進器,ASML是用於制造半導體器件的光刻設備的領先供應商。ASML PAS 5500/300C提供分辨率低至0.10微米的高分辨率光刻技術,使制造商能夠生產晶體管和其他功能和電路特別小的微電子設備。PAS 5500/300 C背後的先進技術包括一個深紫外線（DUV）透鏡，該透鏡在202-193納米的波長下工作，降低了對其他步進器發生反射的模式效應。系統的光學元件基於由兩個反射鏡和一個光柵組成的二進制設計,允許步進用戶通過輕松調整對準來校正離軸像差。該系統還配備了高性能對準傳感器，測量x、y和z方向的位移低至0.1納米精度，消除了錯位誤差。PAS 5500/300C是為可靠性和高性能而構建的。每小時可處理600個晶圓，光刻精度為+/-0.5微米。該系統采用Exposis Optical Reduction （XOR）技術,通過將標記尺寸減少50%來提高吞吐量。它還集成了Pulsar TM電子接口,以提高生產效率和準確性。ASML PAS 5500/300C在每次生產運行後都不需要維護,使其成為一個非常經濟高效的解決方案。ASML PAS 5500/300C與市場上現有的半導體工藝工具兼容，允許客戶安裝和升級到最新的光刻技術。這種晶片步進器設計具有先進的特性，非常適合開發具有復雜特性的芯片。PAS 5500/300 C是制造具有超小型特性的芯片的完美解決方案,使其成為生產尖端設備的理想工具。