二手 ASML PAS 5500 / 300C #9197509 待售

ASML PAS 5500/300 C是半導體器件制造中使用的全自動晶圓步進器。這一工具旨在制造具有超精確圖案的復雜集成電路芯片，使用可掃描的深紫外線（DUV）光源，以精確曝光光刻塗層晶片。ASML PAS 5500/300C為最先進的芯片設計提供了較高的吞吐量處理速度和卓越的統一性,能夠在人工步進設備完成相同任務的一小部分時間內處理數百個晶圓。其主要優勢在於其高性能光刻系統,在整個過程中提供極其嚴密的聚焦和精確的曝光。這是通過其先進的軟件和硬件實現的，包括具有大視野的光學掃描儀、集成傳感器以及用於精確晶圓放置的電動級。掃描儀的大視野讓PAS 5500/300C可以同時處理小作業和大作業，顯著減少了處理時間。此外,PAS 5500/300C還具有一個場平整透鏡,可平整整個視場中的圖樣變化。ASML PAS 5500/300 C還設計了多種功能,可提高其整體效率。例如，「預對準」程序會快速對準晶片方向，然後「自動定心」程序會快速重新對準並光學對準光刻膠圖案。「多步策略」允許多個晶片在同一位置曝光，進一步加快了流程，而其軟件開發工具包（SDK）則賦予用戶開發自己流程配方的權力。ASML PAS 5500/300C還包括其他幾個提高靈活性和性能的功能，如其時間多路復用器（Time Multiplexer，TMX）鏡面和準直透鏡，以及基於激光的晶片稀釋單元。此外,還可以添加可選的自動聚焦機,以提高精度。其他工藝選項包括區域背景清除、分辨率調整、噪聲校正和極化校正。綜上所述,PAS 5500/300 C是一種先進且功能強大的光刻工具,具有多種性能、準確性和效率特點。其廣闊的視野、集成的傳感器和電動舞臺、軟件系統以及可選的附件使其成為大批量生產和精確的小芯片設計過程的理想工具。