二手 ASML PAS 5500 / 300C #9218126 待售

ASML PAS 5500/300C是一種高性能、晶圓步進/掃描儀設備，由ASML制造。它是為集成電路和其他設備的高端光刻而設計的。ASML PAS 5500/300C提供高分辨率的圖像在一個大的視野，具有極好的一致性。PAS 5500/300C設計結構緊湊，底架包括主轉盤和真空板。系統的外部結構提供環境保護，光學元件剛性安裝以減少振動。光學元件（包括透鏡）集成在控制控制臺中。它具有具有光學增強單元的四束通道和各種照明配置，具有優良的特征分辨率。為了提供最高分辨率，PAS 5500/300C擁有1.55微米激光光斑大小、1.2微米的光束指向精度以及0.5至7.5微米範圍的自動對焦機。該工具具有完全分散的照明資產,可在整個圖像字段中提供均勻的曝光。它還利用反向遠心光學模型來提高均勻性和可重復性。晶片的運動由計算機控制的步進運動設備控制。該系統對晶片施加的力比常規方法小，提高了均勻性和可重復性。它能夠達到高達17.5mm/sec的速度,這對於大多數應用程序都是足夠的。該單元可以處理各種晶圓尺寸和多種材料。對於特殊應用程序,它還為較大的視圖字段和柱狀形狀提供了一個選項。此外，還內置了一個板附件，以便對封閉的基板進行直接成像。ASML PAS 5500/300C提供了許多提供高通量性能的功能,如可旋轉模式文件、批處理作業隊列和模式比較工具。該機還可以創建高精度的圖像圖樣，使其適合生產線應用。總體而言,ASML PAS 5500/300C是滿足各種光刻需求的可靠有效的工具。它具有廣闊的視野、分辨率和均勻性，適用於廣泛的集成電路應用。此外,其基於步進器的運動資產和多重照明配置提供了高通量性能。