二手 ASML PAS 5500 / 350C #9137673 待售

ASML PAS 5500/ 350C是一種創新的晶圓步進設備,用於顯微光刻應用。這種步進器具有獨特的設計，使它能夠在小型結構上產生高質量的平版印刷。ASML PAS 5500/350C配備了專門的光學系統,並使用最先進的技術提供可靠和可重復的過程。該單元定位精度為1微米，孔徑尺寸為20微米，采用最新激光技術，具有卓越的曝光性能。PAS 5500/ 350C由350瓦K激光器供電,可實現高分辨率成像和可靠、快速的陣列時間。這種激光器能夠以70w/cm2的強度提供高達17nm的特性尺寸。激光波長為6.45微米，最適合曝光微光刻中使用的先進光刻膠。激光的輸出功率從350瓦到1.2 kW不等。考績5500/350C采用高精度對準和聚焦系統。這種步進器有一個專利的低色散物鏡成像。物鏡以0.55數值光圈（NA）和1.2 NA模式工作。這支持從10nm到1微米的功能大小。ASML PAS 5500/ 350C配備高速掃描頭。它以高達5MHz的成像速率掃描大範圍的曝光。變焦光學器件為成像提供了最佳的掃描光斑大小,從而確保了卓越的圖像質量。ASML PAS 5500/350C由功能強大且易於使用的軟件包控制。此步進器具有用戶友好的圖形界面,能夠在多個行業應用程序中脫穎而出。它支持自動模式識別,並提供確保最佳吞吐量性能的過程反饋。PAS 5500/ 350C是一種創新且功能強大的晶圓步進器工具,用於顯微光刻應用。它采用了最先進的技術，能夠提供高質量、精確的成像和優越的制圖時間。這種資產使用戶更容易、更快地實現他們所期望的結果。