二手 ASML PAS 5500 / 400 #293817861 待售

ASML PAS 5500/400是一種高精度、5軸自動晶片步進器，專為大批量生產微光刻元件而設計。該步進器利用Koch/Oerlikon專利的掃描技術,利用其內置的快速掃描功能,對半導體晶圓表面進行精確掃描以形成半導體元件的圖樣。PAS 5500/400具有創新的晶片卡盤設備,可實現精確的晶片處理和對準,並提供對步進器掃描速度和加速度的精確控制。步進器還具有精確、可重復的電機控制功能,可精確引導掃描速度和加速度,並可進行自適應補償,從而實現一貫精確、可重復的掃描模式。為確保晶片處理和對準穩定,步進器具有先進的自動執行器系統,可確保卡盤與移動臺精確對準。ASML PAS 5500/400的光學單元的設計精度非常高,並且具有300MM （12英寸）焦點場大小。它旨在產生具有最大覆蓋、俯仰、聚焦和線性精度的亞微米級圖案。它還有一個可調光機，能夠精確優化曝光和焦點的可變性。該工具還具有群集級網絡功能,允許遠程訪問資產狀態和數據,以及在模型出現故障時對步進器進行遠程操作和控制。除此之外,步進器還具有內置診斷功能,使用戶能夠診斷步進器的組件（如光學和電動機性能）,以確保最佳操作。PAS 5500/400非常適合在生產環境中使用,它提供高精度、可重復和可靠的結果,可以一次又一次地復制。其先進的特性和設計使其適合各種應用，其用戶友好的界面和網絡功能使其成為理想的選擇。