二手 ASML PAS 5500 / 400C #293655011 待售

ASML PAS 5500/ 400C是ASML（應用掃描技術）為半導體工業開發的晶圓步進器。ASML PAS 5500/400 C是一種步驟和重復光刻工具，設計用於生產使用深紫外線照明器的多層集成電路。其焦平面陣列（FPA）技術提供高圖像質量和高吞吐量.該機器能夠以65 nm x 65 nm的網域大小掃描多達1.2M個眼鏡/分鐘,同時保持高分辨率。PAS 5500/ 400C設備配有內置掃描頭和照明器，以及提供高精度晶圓對準和可追蹤控制的接近校正系統（PCS）。內置照明器采用激光二極管泵浦氟化氙（ArF）激光技術進行13.4nm波長曝光。具有高均勻性和峰值亮度的高效多空白源。PAS 5500/400 C使用獨特的Hybrid Astigmatism子單元來減少失真，使「Peak Precision Calibation」成為可能。這樣可以減少處理器時間並提高掃描圖像的保真度。ASML PAS 5500/ 400C還通過同時使用「Dual@@-Pass」和「Double@@-ArF」曝光技術等幾個組件,提供具有競爭力的曝光時間和高分辨率。ASML PAS 5500/400 C機器還具有具有高分辨率3D映射選項的高級計量能力。它具有測量圖樣放置精度、覆蓋精度和晶圓覆蓋配準等特征的能力。該工具帶有一個標準的過程配方庫。PAS 5500/ 400C是一種通用、高效的晶圓步進器，適合半導體行業的苛刻要求。它具有很高的圖像質量、生產力和分辨率,以及計量能力,非常適合在全天候生產中集成。它具有出色的性價比、可靠的可靠性和較長的使用壽命。PAS 5500/400 C晶圓步進器是廣泛產品的完美制造解決方案。