二手 ASML PAS 5500 / 400D #293817859 待售

ASML PAS 5500/ 400D是一種高性能晶圓步進器，為半導體行業提供精密的光刻和成像能力。它的分辨率為0.25微米，可以在不同的階段處理高達400mm的晶圓。ASML PAS 5500/400D在整個過程中提供計算機驅動的高速成像和卓越的吞吐量,以確保盡快完成生產過程。PAS 5500/400 D配備了集成成像設備，包括幾個功能，包括晶圓對準系統、激光幹涉儀單元和先進的機器人機器。集成成像工具自動調整機器的晶圓運動參數，以實現最佳的光刻成像結果，無需任何操作員幹預。此外,映像資產可以檢測到任何對齊和定位錯誤,並可以針對任何差異快速進行調整。該機還包括加熱元件、偏轉器催化劑、濾鏡組件、快門組件、狹縫燈組件、曝光頭組件等多種可定制功能。曝光頭組件使機器能夠執行各種高級光刻操作,如輪廓投影（CP）、高對比度刷新（HCR）和深度聚焦（DOF）。機器的內部光學器件，如激光幹涉儀和投影光學器件，也被設計為提供增強的成像特性。激光幹涉儀校正任何傾斜或聚焦誤差，並提供晶圓表面的精確掃描。此外，投影光學器件設計用於處理各種基板和材料，並且可以使用不同的光源和處理技術。該機器還包括各種旨在增強其功能的計算機軟件程序，包括靈活準確的掩模對準工具、精確的補丁分析、對基板上不明確區域的快速校正以及高級的Focus、Exposure和Stop程序。支持軟件還允許操作員輕松存儲和訪問每次晶圓運行期間使用的所有成像參數，以確保一致和高效的操作。總體而言,ASML PAS 5400/400D是一個功能強大的晶圓步進器,它提供卓越的成像功能和各種功能,旨在提高生產過程的效率、準確性和吞吐量。它是半導體行業和其他需要精確光刻操作的行業的理想選擇。