二手 ASML PAS 5500 / 400D #9237241 待售

ASML PAS 5500/ 400D是一種光刻設備，用於生產集成電路、微結構和傳感器等微電子設備。它利用一種最先進的光學投影光刻方法在晶圓上創建這些微觀尺度的器件。這臺機器由一個掩模和一個鏡片系統組合到晶片級組成。透鏡單元可實現低至幾納米的高分辨率圖樣。鏡頭的焦距在0.255數值光圈水平，不同焦距可調節。該鏡頭機安裝在線性掃描階段。此掃描級沿x-y方向移動掩碼和晶片級。最大掃描面積為400mm x 400mm，最高掃描速度為75mm/s。掩模工具可以準確地將圖樣配準到晶片上。它還允許在晶圓上有一個穩定的成像環境。這是通過在同一舞臺上安裝多個鏡頭系統和口罩來實現的。掩模的模式分為兩個部分：圖像部分和用於將模式註冊到晶圓的參考數據。圖像部分由客戶圖樣的分布式圖像產生的光掩模圖樣構成。晶片級能夠快速、準確地將圖樣圖像從掩模傳輸到晶片。此階段由卡盤、視覺單元和負載鎖定單元組成。卡盤在曝光過程中使用真空方法將晶片固定到位。視覺單元有兩個CCD攝像機，用於對準掩模並監控晶片的裝卸。負載鎖單元裝有一個濾清器，用於清潔空氣，以將晶片送入和移出加工室。總之，ASML PAS 6200/400D是一種強大的晶圓步進器，能夠快速準確地生產微電子元件。它的透鏡資產提供了一個低至幾納米的分辨率，而掩模模型則提供了對晶圓圖樣的精確配準。晶片級允許將圖樣圖像從掩模精確、快速地傳輸到晶片。其最先進的設計使其成為生產大批量微電子器件的理想工具。