二手 ASML PAS 5500 / 400D #9296950 待售

ASML PAS 5500/ 400D是一種高度技術性的晶圓步進器,旨在在極高的體積和高通量半導體芯片生產中工作。這種步進器是PAS產品系列的一部分,是一種最先進的光刻設備,具有先進的技術,如最新的ASML設計的PAS5m掃描儀、180 nm分辨率和7nm大的聚焦深度。該系統旨在確保以每小時15,000個晶圓的最大掃描速度獲得最佳性能,掃描速率為每秒70nm。這樣可最大限度地提高吞吐量並降低每個模具的成本。利用該設備的最小除氣能力,它提供了一個幹凈、精確的過程,產生的缺陷最小。它非常適合生產大型邏輯芯片、嵌入式電路和機器上芯片。線寬能力突出，具有優異的特征均勻性和可重復性。它還集成了先進的表面計量學和精密的測量特征，能夠準確的模式配準和優越的叠加結果。該模型有兩個光學掃描級，每個級由一對直線電動機驅動，設計和操作以制造具有可重復精度的關鍵結構。工具中還包括一些高級對齊和過程控制軟件包。這允許較短的周期時間和最大的精度。ASML PAS 5500/400D可以通過多種模型自定義選項來針對許多客戶需求進行定制。這包括對物鏡、幹洗/濕洗操作和舞臺精度的各種選擇。為完成陣容，該型號針對EUV和傳統的ArF光源進行了優化。PAS 5500/400 D是一種令人印象深刻的高級步進器,專為高容量、精確的芯片生產而設計。它滿足或超過了要求在可靠的微電子生產模式中具有卓越性能和卓越可重復性的半導體制造商的期望。