二手 ASML PAS 5500 / 500 #293814112 待售

ASML PAS 5500/500是用於制造半導體器件的先進晶圓步進工具。它能夠為各種半導體元件產生高度精確的微結構。這臺機器使用對準和成像設備將紫外線圖樣暴露在半導體晶圓上。它具有可變對稱系統（Variable Symmetry System, VSS），這是一個強大的照明單元，可靈活調整投影圖像的形狀、視場大小和光掩模類型等因素。該工具有四個光學系統，每個系統包含多個透鏡和一個單獨的對準機。每個工具都可以獨立調整，在不同的條件下提供穩定和可重復的對準精度。該資產還具有低失真投影鏡頭，以確保精確和一致的平版印刷過程。PAS 5500/500還包括一個高級掃描模型,可確保對各種布局形狀（包括超大尺寸字段、子字段和小幾何）進行高分辨率成像。它還利用步進器的可重復運動來精確跟蹤多個視場。再者，ASML PAS 5500/500配備了可靠的真空夾緊技術，防止晶圓在曝光過程中失真。該工具還包括一個集成的OCR讀出設備，能夠方便地讀取每個晶圓的多個條形碼，以確保快速、自動化的處理。總之，PAS 5500/500是一種功能強大、精度高的晶片加工工具，旨在滿足現代半導體制造的需求。其先進的高分辨率光學和掃描系統使精密和可重復的光刻生產精細的特征和準確可靠的晶片夾緊整個過程。