二手 ASML PAS 5500 / 500 #293817858 待售

ASML PAS 5500 / 500
ID: 293817858
i-Line stepper Numerical Aperture (NA): 0.4-0.63 Resolution: 220 nm DCO:  45 Throughput (WPH): 96.
ASML PAS 5500/500是由半導體光刻設備和系統的領先制造商ASML制造的晶圓步進器。用於制造精細的電路層,用於制造集成電路。PAS 5500/500是開發下一代先進半導體技術的關鍵組成部分,因為它具有市場上所有步進器中最高的分辨率。ASML PAS 5500/500是一種用於將光學元件與X射線對準激光設備集成的工具。這使機器能夠達到0.25 μ m的分辨率上限,並且在晶圓表面上有統一的圖樣。現場監測系統對步進組件的定位極為精確。步進器還采用了最新的光學成像技術,具有高分辨率、多級光刻能力。PAS 5500/500配備了高精度的行星級和強大的二維電機。這樣可以實現精確優化的曝光時間以及精確的掩模和晶圓對準。步進器還利用最新的圖像銳化單元,可以處理各種曝光任務。ASML PAS 5500/500是一種高度可靠和堅固的機械,使用壽命長達十年。它具有電子控制的機電浸漬機構,可減少操作過程中的振動,不需要潤滑。安全方面,PAS 5500/500擁有安全的應急停止機,以及提供嚴格溫濕度控制的綜合環保。它的設計還允許步進器和相關組件的高效操作,並且高效操作可降低潛在損壞和潔凈室汙染的風險。總體而言,ASML PAS 5500/500是一種高效可靠的光刻步進器.它提供了市場上最高的分辨率,包括現場監控和圖像銳化技術,以及有效優化的曝光時間。它是安全、堅固和高度可靠的,具有減少振動的機電浸漬機構和緊急停止工具。PAS 5500/500是創建用於先進半導體制造行業的精細電路層的關鍵組件。
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