二手 ASML PAS 5500 / 60 #9275776 待售

ASML PAS 5500/60是一種用於制造半導體集成電路的高分辨率晶圓步進器。它旨在通過減少每個晶片的曝光時間來提高精密光刻工藝的效率。步進器的工作原理是將光的圖樣投射到晶片的表面上，以便蝕刻出所需的形狀。ASML PAS 5500/60是一種先進的6軸高分辨率化學投影步進器。步進器配備了最先進的光學和掃描技術,具有廣泛的功能尺寸和工藝能力。其幾何形狀針對高吞吐量和可重復性能進行了優化,從而實現了快速的平版印刷周期而又不犧牲質量。PAS 5500/60步進器具有三鏡成像系統，在晶圓表面上產生所需圖樣的高精度圖像。通過將這些圖像精確放置在晶片上的指定位置，步進器可以蝕刻出非常精確的特征，如晶體管閘門，呈所需的形狀。PAS 5500/60還配備了先進的自動化和控制系統。這樣可以確保晶片在步進器內的對齊和定位是牢固和一致的。此外，步進器利用精密的熱管理技術，在整個操作過程中保持恒定的溫度，從而產生最可靠和準確的光刻工藝。ASML PAS 5500/60適合於半導體晶圓制造中的大批量生產，因為它可以支持廣泛的工藝要求。它的高分辨率光學和自動化控制系統確保每次曝光都盡可能準確和幹凈，從而減少了返工的需要。最後,步進器的廣泛曝光範圍和加快晶圓掃描速度的選項使其成為工業規模光刻應用的強大且經濟高效的選擇。