二手 ASML PAS 5500 / 60 #9276126 待售
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ASML PAS 5500/60是一種技術先進的晶圓步進設備,能夠借助一組鏡像透鏡制造和組裝高精度集成電路陣列(IC)。該系統允許制造對半導體行業至關重要的微小復雜的集成電路。ASML PAS 5500/60的主要部件包括高精度的X、Y、Z級;G型空氣軸承步進器;一副可移動的雙鏡頭;自動化聚焦單位;大幅面光阻塗層站;晶圓旋轉馬達;以及多角度曝光表。整個機器的設計可以適應各種IC制造尺寸和要求。PAS 5500/60采用G型空氣軸承步進器,允許晶片在亞微米精度下快速步進。可以容納各種各樣的芯片大小,從NOR大小的芯片到256MB-sized芯片。步進器還設計用於自動調整任何範圍的芯片尺寸的方向和焦點設置。PAS 5500/60的鏡像鏡頭為錯綜復雜的IC提供了最佳分辨率。這樣就可以在集成電路上精確放置和定位電路。借助自動對焦工具,鏡頭能夠自我調節,讓IC保持完美對焦,以獲得更好的性能。ASML PAS 5500/60的光阻塗層站能夠提供各種厚度的高品質光阻層,這取決於需要制造的IC的尺寸和復雜性。晶圓旋轉電動機還允許在制造和組裝過程中精確定位IC。最後,ASML PAS 5500/60的多角度曝光表為IC提供了多個曝光角度,這取決於芯片的設計要求。這可以實現精確和精確的光刻,這對於建造結構復雜的集成電路至關重要。總體而言,PAS 5500/60是一項突破性技術,它在集成電路的生產和組裝方面提供了工業級別的性能和精度。這項先進的技術確保了準確可靠的IC生產,從而提高了半導體行業的生產率。
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