二手 ASML PAS 5500 / 60B #293817855 待售
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ID: 293817855
i-Line stepper
Numerical Aperture (NA): 0.54
Resolution: 450 nm
DCO: 70
Throughput (WPH): 48.
ASML PAS 5500/ 60B是一種用於半導體芯片生產的光學成像光刻設備。本機是晶圓步進器,是一種用於制造微電子器件的光學成像器件。PAS 5500/ 60B是一種最先進的工具,能夠獲取電光掩模並將其傳輸到移動的矽片上。ASML PAS 5500/ 60B具有先進的光刻技術、高精度對準和極快的掃描能力,可用於生產高產芯片設計。晶片步進器具有高性能、掃描就緒的標線級,具有自動識別和標線的二維呈現。它還具有高精度對準系統,可實現高精度圖像配準,以及自動對焦單元,可確保光學器件在成像過程中保持正確聚焦。PAS 5500/ 60B能夠生產功能尺寸低至0.2微米的芯片設計。它還具有高度的過程可重復性,這允許生產具有幾乎相同特性的芯片。該機還擁有高速、突發模式的掃描機,確保芯片圖像能夠快速準確地創建。ASML PAS 5500/ 60B具有廣泛的輸入和輸出參數,可以連接到各種設備以連接其他成像系統,例如晶圓臨界尺寸(CD)測量儀器。該工具還具有雙層叠加功能,使雙面電路的生產無需使用雙面掩蔽。盡管PAS 5500/ 60B是一臺相對較小的機器,但它仍具有生產高質量芯片設計所必需的所有高級功能。它是生產復雜集成電路的可靠、經濟高效的工具,是半導體芯片制造的誘人選擇。
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