二手 ASML PAS 5500 / 700 #293816709 待售

ASML PAS 5500/700系列晶片步進器是當今半導體工業中用於矽晶片精確光刻成像的自動化機器。它利用光學光刻工藝將晶片上的圖樣暴露出來，創造出制造集成電路、矽芯片和其他半導體所必需的微電路。這種步進器的主要特點之一是它的高數值孔徑和曝光靈活性。其NA或0.7的數值孔徑可實現高分辨率成像和更精細的圖樣。這是通過使用組合的照明器和鏡子設備來實現的，這種組合使各種光學透鏡能夠對焦和放大曝光模式。它還具有一個可自定義為4、5、6和8英寸大小的曝光字段。這種晶片步進器配備了兩個物鏡-一個衰減相移面罩透鏡和一個具有雙區域照明系統的復合物鏡。衰減相移掩模透鏡利用紫外線在晶圓表面上制作圖樣，而雙區照明單元的復合物鏡則在控制像差的同時放大這些圖樣。這種布置使步進器能夠在模式保真度和成像深度方面提供增強的性能。除了成像性能外,PAS 5500/700系列晶圓步進器還具有先進的多軸運動控制和調諧機。此工具由控制器、編碼器和電機驅動程序組成,使步進器能夠提供精確的跟蹤運動和定位。步進器具有用於晶圓運動和精確定位的XY級，以及用於精細增量聚焦的高級語音線圈傳感器。在安全性和可靠性方面，這款晶圓步進器配備了TEMIR光束停止和軟管停止安全資產、風扇防護、消防系統、溫度傳感器、門磁鐵等安全裝置等多項功能。最後，步進器經過CE認證，在設計、性能和工業操作方面都符合所有安全規定。總體而言,ASML PAS 5500/700系列晶圓步進器提供了適用於要求最苛刻的半導體工藝的最佳光刻成像性能。其高數值孔徑、曝光靈活性和先進的運動控制模型，加上其安全性和可靠性特點，使其成為集成電路、矽芯片和其他半導體制造商的理想選擇。